Dom > Vijesti & Press > Sadržaj
Generator plazme sa niskim pritiskom
Mar 30, 2018

Uređaj za ispuštanje plina sa niskim pritiskom obično se sastoji od tri dela: napajanja, komore za ispuštanje, vakuumskog sistema i sistema za snabdevanje radnim gasom (ili reakcionim gasom) za proizvodnju plazme. Postoje obično četiri kategorije: uređaji za statičko pražnjenje (slika 5), visokonaponske uređaje za pražnjenje korona (slika 5 B), uredjaji za visoku frekvenciju (RF) (3 vrste, slika 5 c) i uređaji za mikrotalasno pražnjenje (sl. 5 d). Obrađena čvrsta površina ili površina podloge koja zahteva sloj polimerne folije smeštena je u prostor za ispuštanje i tretirana plazmom. Pošto je plazma niskog pritiska hladna plazma, kada je pritisak vazduha oko 133 ~ 13,3, temperatura elektrona je do 10000, a temperatura gasa je samo 300 otvorena, koja ne gori podlogu i ima dovoljno energije za površinu liječenje. Plazma generatori niskog pritiska široko se primjenjuju u polimerizaciji plazme, pripremi filmova, jedra, čišćenja i drugih postupaka obrade površine. Primjeri uspjeha, kao što su: u procesu izrade poluprovodnika, korištenje suve korozije plazme iz fluora-Lyona, joniranje na metalnoj površini formiranja filma titanijum-nitrida. Od 70-tih, plazma niskog pritiska razvila se brzo za površinsku obradu i modifikaciju nemetalnih čvrstih materija kao što su staklo, tekstil, plastika itd.


Povezane vijesti

Copyright © Kunshan Plaux Electronics Technology Co, Ltd Sva prava pridržana.