Packing Level Wafer

Opis pakovanja na nivou vafla

Naziv opreme: Oprema za obradu plazme

Model opreme: PR160L

Težina mašine: oko 500KG

Nominalna snaga: 4KW

napojni nivo pakovanja napajanje: AC-380V / trofazni petožilni

Ukupne specifikacije: 1450mm (W) × 1200mm (D) × 1720mm (H)

Specifikacije vakuumske komore: 600mm (Š) × 600mm (D) × 600mm (H) uvezeni aluminijum

Specifikacije ploče elektrode: 570mm (W) × 490mm (D), 10 slojeva, razmak medija: 60mm, mogu se projektovati, mogu se rezervisati

Način držanja: prilagođena struktura aluminijumskog nosača

Kapacitet: prema specifikacijama proizvoda

Vreme obrade: različiti proces, različito vrijeme obrade

Snaga generatora plazme: RF 13.56 MHz, podesiva od 0-1000W

Vakum pumpa: mehanička vakuum pumpa

Vakuumski merni sistem: Merač otpornosti na Pirani

Radni vakuum: 20-80 Pa

Granični pritisak vakuum pumpe: 5,0 × 10-1 Pa

Vreme vakuuma: ≤120S

Prekid vakuuma: 30S

Metoda snabdevanja gasom: tip elektromagnetnog ventila

Raspon podešavanja protoka: 0-500Sccm (ml / min)

Sistem za nadgledanje pritiska vazduha: 2 tablice za dekompresiju pritiska vazduha, 2 mjerila mase mase plina

Način rada: ručno uzmite i postavite radni komad, pokrenite automatsku kontrolu pomoću ključa

Korišćenje pakovanja:

različite kombinacije za različite proizvodne procese, mogu se koristiti za uređaje, obradu metala, keramiku, staklo i drugo čišćenje površina, modifikacija i tako dalje.

Kompanija pakovanja nivoa vafla

Pakovanje pakovanja na nivou vafla