Plazma plamena niske temperature

Opis niske temperature plazma ashing Naziv opreme: oprema za obradu plazme Model opreme: PR160L Težina mašine: oko 500KG Nominalna snaga: 5KW niskotemperaturna plazma napajanje: AC-380V / trofazni petopropusni Ukupne specifikacije: 1560mm (W) × 1100mm (D) × 1740mm (H) ...

Pošaljite upit Chat Sada

Opis niske temperature zagrijavanja plazme

Naziv opreme: Oprema za obradu plazme

Model opreme: PR160L

Težina mašine: oko 500KG

Nominalna snaga: 5KW

Niskotemperaturna napajanje plamenskog napajanja: AC-380V / trofazna petožica

Ukupne specifikacije: 1560mm (W) × 1100mm (D) × 1740mm (H)

Specifikacije vakuumske komore: 750mm (Š) × 600mm (D) × 450mm (H) uvezeni aluminijum

Specifikacije ploče elektrode: 738mm (Š) × 450mm (D), 10 slojeva

Način držanja: prilagođena struktura aluminijumskog nosača

Kapacitet: prema specifikacijama proizvoda

Vreme obrade: različiti proces, različito vrijeme obrade

Snaga generatora plazme: uvezena MKS0-600W, domaća radio frekvencija 13.56MH z, 0-1000W podesiva

Vakuum pumpa: Uvozna mehanička vakuum pumpa

Vakuumski merni sistem: Visoko precizni vakuumski merač

Radni vakuum: 20-80 Pa

Granični pritisak vakuum pumpe: 5,0 × 10-1 Pa

Vreme vakuuma: ≤120S

Prekid vakuuma: 30S

Metoda snabdevanja gasom: tip elektromagnetnog ventila

Raspon podešavanja protoka: 0-500Sccm (ml / min)

Sistem za nadgledanje pritiska vazduha: 2 tablice za dekompresiju pritiska vazduha, 2 mjerila mase mase plina

Način rada: ručno uzmite i postavite radni komad, pokrenite automatsku kontrolu pomoću ključa

Korišćenje pepela niske temperature plazme:

Različite kombinacije se koriste za različite proizvodne procese. Koriste se isključivo u Diebond-ovom prethodnom čišćenju, prečišćavanju prediva, čišćenju površine vafra i drugim procesima u poluprovodničkom polju.


Kompanija niskotemperaturne plazme:

23.jpg


Pakovanje niskotemperaturne plazme:

24.jpg


Hot Tags: niskotemperaturne plazme, Kina, proizvođači, fabrika, prilagođena, napravljena u Kini
Srodni proizvodi

Copyright © Kunshan Plaux Electronics Technology Co, Ltd Sva prava pridržana.